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    1. 半導體

      • 熱解吸儀氣相聯用色譜法測定硅片表面的有機污染物

        硅片表面的有機污染物的定性和定量方法,采用氣質聯用儀或磷選擇檢測器或者兩者同時采用。 GB/T 24577-2009 熱解吸氣相色譜法測定硅片表面的有機污染物 標準描述了熱解吸氣相色譜儀(TD-GC)以及有關樣品制備和分析的相關程序。 本標準的檢測限范圍取決于被檢測的有機化合物,比如碳氫化合物(C~C)的檢測范圍就是 10 g/cm~10g/cm。 本標準適用于硅拋光片和有氧化層的硅片

        2020-07-14 踏實熱解析 14

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